書誌事項
- タイトル別名
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- ケンビラマン ブンコウ ケイソク ニ オケル シリコン ビショウ コウゾウタイ ノ オウリョク セイブン ブンリホウ
- Stress Component Analysis Method for Silicon Micro Structures Using Micro-Raman Spectroscopy
- 特集 ダウンサイジング化を支えるナノ・マイクロ材料計測技術
- トクシュウ ダウンサイジングカ オ ササエル ナノ ・ マイクロ ザイリョウ ケイソク ギジュツ
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収録刊行物
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- 実験力学 : Journal of JSEM : Journal of the Japan Society for Experimental Mechanics / 日本実験力学会編集委員会 編
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実験力学 : Journal of JSEM : Journal of the Japan Society for Experimental Mechanics / 日本実験力学会編集委員会 編 12 (1), 3-7, 2012-03
東京 : 日本実験力学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834681950464
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- NII論文ID
- 10030556039
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- NII書誌ID
- AA11822914
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- ISSN
- 13464930
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- NDL書誌ID
- 023662209
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
