書誌事項
- タイトル別名
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- キハク NaCl デンカイ カンゲンスイ オ モチイタ シリコンウエハ ノ セイミツ ケンマ
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収録刊行物
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- 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編
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精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編 72 (10), 1247-1252, 2006-10
東京 : 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834761354368
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- NII論文ID
- 110004810077
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- NII書誌ID
- AA11966630
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- ISSN
- 13488724
- 13488716
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- NDL書誌ID
- 8536840
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
- KAKEN