Etching Characteristics with Ar-Cl₂ Gas Mixed Cluster Ion Beam
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収録刊行物
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- 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo
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兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo 273-277, 2010
姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室