単結晶ダイヤモンド・ウェハの開発--マイクロ波プラズマCVD法による大型化とウェハ化技術
書誌事項
- タイトル別名
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- タンケッショウ ダイヤモンド ウェハ ノ カイハツ マイクロハ プラズマ CVDホウ ニ ヨル オオガタカ ト ウェハカ ギジュツ
- Development of single-crystalline diamond wafers: enlargement of crystal size by microwave plasma CVD and wafer fabrication technology
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収録刊行物
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- Synthesiology = 構成学 / シンセシオロジー編集委員会 編
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Synthesiology = 構成学 / シンセシオロジー編集委員会 編 3 (4), 272-280, 2010-11
[つくば] : 産業技術総合研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834799379072
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- NII論文ID
- 40017405674
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- NII書誌ID
- AA12294844
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- ISSN
- 18826229
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- NDL書誌ID
- 10914098
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
