- 【Updated on May 12, 2025】 Integration of CiNii Dissertations and CiNii Books into CiNii Research
- Trial version of CiNii Research Knowledge Graph Search feature is available on CiNii Labs
- 【Updated on June 30, 2025】Suspension and deletion of data provided by Nikkei BP
- Regarding the recording of “Research Data” and “Evidence Data”
招待講演 ダブルパターニング技術の開発と応用
Bibliographic Information
- Other Title
-
- ショウタイ コウエン ダブルパターニング ギジュツ ノ カイハツ ト オウヨウ
- Important challenges for Double Patterning process
Search this article
Journal
-
- 半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集 = Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology
-
半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集 = Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology 41 45-48, 2010-07
東京 : 電気化学会電子材料委員会
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520853834985768576
-
- NII Article ID
- 10027629489
-
- NII Book ID
- AN00348438
-
- NDL BIB ID
- 026698674
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- Data Source
-
- NDL Search
- CiNii Articles