Characteristics Improvement of RF Magnetron Sputtering Y-Ba-Cu-O Thin Films by In-situ After-Treatments
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- Other Title
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- Characteristics Improvement of RF Magne
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Journal
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- 関東学院大学工学部研究報告 = Journal of technological researches / 関東学院大学工学部工学会 編
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関東学院大学工学部研究報告 = Journal of technological researches / 関東学院大学工学部工学会 編 40 (1), 1-4, 1996-11
横浜 : 関東学院大学工学部工学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853835086329472
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- NII Article ID
- 40000570315
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- NII Book ID
- AN00047985
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- ISSN
- 03685373
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- NDL BIB ID
- 4170139
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- Text Lang
- en
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- NDL Source Classification
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles