分子線エピタキシー法によるGaAs,AlGaAs単結晶薄膜の成長とその評価

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  • ブンシセン エピタキシーホウ ニ ヨル GaAs AlGaAs タンケッショウ

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抄録

記事分類: 電気工学--電気材料・部品

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