光干渉型MEMS表面応力センサによる室温エタノールガス検出
書誌事項
- タイトル別名
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- ヒカリ カンショウガタ MEMS ヒョウメン オウリョク センサ ニ ヨル シツオン エタノールガス ケンシュツ
- Room temperature ethanol gas detection by optical interferometric MEMS surface stress sensor
- マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 センサ,MEMS,一般
- マイクロマシン ・ センサ システム バイオ ・ マイクロ システム ゴウドウ ケンキュウカイ センサ,MEMS,イッパン
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. MSS
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電気学会研究会資料. MSS 2021 (48-54), 15-19, 2021-08-06
東京 : 電気学会