GaAsのドライエッチング損傷の微細構造評価
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- Other Title
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- GaAs ノ ドライ エッチング ソンショウ ノ ビサイ コウゾウ ヒョウカ
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Journal
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- 応用物理
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応用物理 66 (3), 242-246, 1997-03
東京 : 応用物理学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853835171845504
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- NII Article ID
- 10004811081
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- NII Book ID
- AN00026679
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- ISSN
- 03698009
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- NDL BIB ID
- 4148882
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles