極微細低抵抗ゲート電極配線技術

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  • キョク ビサイ テイテイコウ ゲート デンキョク ハイセン ギジュツ

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収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 68 (11), 1258-1262, 1999-11

    東京 : 応用物理学会

参考文献 (30)*注記

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