5.最近のトピックス : 5.2フッ素,塩素負イオン生成とSi,SiO_2とのエッチング反応 : 負イオンを見直そう(<特集>負イオン特集)

書誌事項

タイトル別名

フッ素,塩素負イオン生成とSi,SiO2とのエッチング反応
フッソエンソフイオンセイセイト Si SiO2 トノエッチング
Recent Topics : Generation of Fluorine and Chlorine Negative Ions and Etching Reaction with Si and SiO_2
フッ素,塩素負イオン生成とSi,SiO2とのエッチング反応
負イオン特集 ; 負イオンを見直そう
フイオントクシュウ ; フイオンオミナオソウ

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コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会

収録刊行物

プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編 72 (11), 1168-1174, 1996-11

名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会

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詳細情報詳細情報について

Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/4085474; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4085474; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10452548

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