直線集束ビーム超音波顕微鏡によるSAWデバイス用LiNbO3,LiTaO3単結晶基板の評価・選別

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  • チョクセン シュウソク ビーム チョウオンパ ケンビキョウ ニ ヨル SAW デバイスヨウ LiNbO3 LiTaO3 タンケッショウ キバン ノ ヒョウカ センベツ

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