TiNおよびTi-Al-N系膜の酸化機構
書誌事項
- タイトル別名
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- TiN オヨビ Ti-Al-Nケイ マク ノ サンカ キコウ
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収録刊行物
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- 東北大学素材工学研究所彙報
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東北大学素材工学研究所彙報 54 (1・2), 28-39, 1998-12
仙台 : 東北大学素材工学研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853835260398976
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- NII論文ID
- 110000589773
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- NII書誌ID
- AN10405196
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- ISSN
- 09194827
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- NDL書誌ID
- 4688751
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles