次世代ULSIの微細化と多層配線技術開発に求められるいくつかの最新SPM分析手法の紹介
書誌事項
- タイトル別名
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- ジセダイ ULSI ノ ビサイカ ト タソウ ハイセン ギジュツ カイハツ ニ モトメラレル イクツカ ノ サイシン SPM ブンセキ シュホウ ノ ショウカイ
- 特集 表面性状を識る
- トクシュウ ヒョウメン セイジョウ オ シル
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収録刊行物
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- Polyfile = ポリファイル : 高分子関連技術情報誌
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Polyfile = ポリファイル : 高分子関連技術情報誌 38 (7), 40-43, 2001-07
東京 : 大成社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520854803502654080
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- NII論文ID
- 40019842227
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- NII書誌ID
- AN10153107
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- ISSN
- 09102175
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- NDL書誌ID
- 024956625
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
