大型TFT-LCD製造用PECVD装置の現状と展望
書誌事項
- タイトル別名
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- オオガタ TFT-LCD セイゾウヨウ PECVD ソウチ ノ ゲンジョウ ト テンボウ
- 特集 2006年のディスプレイとデバイス技術展望
- トクシュウ 2006ネン ノ ディスプレイ ト デバイス ギジュツ テンボウ
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収録刊行物
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- ディスプレイ = Monthly display : FPD・照明・太陽電池の総合技術情報誌 / 月刊ディスプレイ編集委員会 編
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ディスプレイ = Monthly display : FPD・照明・太陽電池の総合技術情報誌 / 月刊ディスプレイ編集委員会 編 12 (1), 24-30, 2006-01
東京 : テクノタイムズ社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520854805218915072
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- NII論文ID
- 40019855811
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- NII書誌ID
- AA11422144
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- ISSN
- 13413961
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- NDL書誌ID
- 024981637
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
