超音波デバイス 長辺振動水晶振動子の周波数変調原子間力顕微鏡への応用--原子分解能力センサ
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- Other Title
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- チョウオンパ デバイス チョウ ヘン シンドウ スイショウ シンドウシ ノ シュウハスウ ヘンチョウ ゲンシカンリョク ケンビキョウ エノ オウヨウ ゲンシ ブンカイ ノウリョク センサ
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- 超音波techno / 超音波techno編集部 編
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超音波techno / 超音波techno編集部 編 21 (4), 60-64, 2009
東京 : 日本工業出版
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520854805599232384
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- NII Article ID
- 40016757875
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- NII Book ID
- AN10068970
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- ISSN
- 09162410
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- NDL BIB ID
- 10381598
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- Data Source
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- NDL Search
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