縮小露光リソグラフ用レーザープラズマ軟X線光源装置の開発
Bibliographic Information
- Other Title
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- シュクショウ ロコウ リソグラフヨウ レーザープラズマナンXセン コウゲン ソウチ ノ カイハツ
- 特集:レーザープラズマX線源とその応用
- トクシュウ レーザープラズマ Xセンゲン ト ソノ オウヨウ
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Abstract
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
Journal
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- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
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表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 20 (3), 173-179, 1999-03
東京 : 日本表面科学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520854805641318912
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- NII Article ID
- 10002267345
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- NII Book ID
- AN00334149
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- ISSN
- 03885321
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- NDL BIB ID
- 4679549
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles