分析技術 TOF-SIMSと低角斜め切削法を用いたサブミクロン高分子薄膜の組成分析
Bibliographic Information
- Other Title
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- ブンセキ ギジュツ TOF SIMS ト テイカク ナナメ セッサクホウ オ モチイタ サブミクロン コウブンシ ハクマク ノ ソセイ ブンセキ
- 評価技術特集
- ヒョウカ ギジュツ トクシュウ
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Journal
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- 日東電工技報
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日東電工技報 45 (1), 68-71, 2007
茨木 : 日東電工技術企画部
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520854805926223872
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- NII Article ID
- 40015565997
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- NII Book ID
- AA1183706X
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- ISSN
- 13482475
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- NDL BIB ID
- 8882177
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
