大電力パルススパッタリングを用いた硬質炭素薄膜の高速成膜技術の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- ダイ デンリョク パルススパッタリング オ モチイタ コウシツ タンソ ハクマク ノ コウソクセイマク ギジュツ ノ カイハツ
- Development of high-speed deposition technique of diamond-like carbon film by high power pulse sputtering
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収録刊行物
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- 名城大学総合研究所紀要 = Bulletin of Research Institute of Meijo University / 名城大学総合研究所 編
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名城大学総合研究所紀要 = Bulletin of Research Institute of Meijo University / 名城大学総合研究所 編 (27), 1-4, 2022
名古屋 : 名城大学総合研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520859757872924160
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- NII書誌ID
- AN10581869
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- ISSN
- 13448099
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- NDL書誌ID
- 032907758
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDLサーチ