磁気軸受式ターボ分子ポンプ

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タイトル別名
  • ジキ ジクウケシキ ターボ ブンシ ポンプ
  • Magnetically Levitated Turbomolecular Pump
  • 特集 磁気浮上技術の最前線
  • トクシュウ ジキ フジョウ ギジュツ ノ サイゼンセン

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