磁気軸受式ターボ分子ポンプ
書誌事項
- タイトル別名
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- ジキ ジクウケシキ ターボ ブンシ ポンプ
- Magnetically Levitated Turbomolecular Pump
- 特集 磁気浮上技術の最前線
- トクシュウ ジキ フジョウ ギジュツ ノ サイゼンセン
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収録刊行物
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- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
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精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 89 (11), 804-807, 2023-11
東京 : 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520861151112840192
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- NII書誌ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 09120289
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- NDL書誌ID
- 033164255
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
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- データソース種別
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- NDL