光励起プラズマによるダイヤモンドライクカーボンの精密成膜とその応用
書誌事項
- タイトル別名
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- ヒカリ レイキ プラズマ ニ ヨル ダイヤモンドライクカーボン ノ セイミツセイマク ト ソノ オウヨウ
- Precise Deposition and Application of Diamond-like Carbon by Photo-excited Plasma
- 特集 プラズマが誘起する表面反応の制御による膜作製
- トクシュウ プラズマ ガ ユウキ スル ヒョウメン ハンノウ ノ セイギョ ニ ヨル マク サクセイ
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収録刊行物
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- 表面と真空 = Vacuum and surface science / 日本表面科学会, 日本真空学会 編
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表面と真空 = Vacuum and surface science / 日本表面科学会, 日本真空学会 編 67 (2), 59-64, 2024-02
東京 : 日本表面科学会 ; 2018-
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520862312520043392
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- NII書誌ID
- AA12808657
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- ISSN
- 24335835
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- NDL書誌ID
- 033346031
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
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- データソース種別
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- NDL