CO₂レーザとEUVリソグラフィ光源
書誌事項
- タイトル別名
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- CO ₂ レーザ ト EUV リソグラフィ コウゲン
- Development of Short Pulse CO₂ Laser and Related Extreme Ultraviolet (EUV) Source
- 特集 長波長領域の精密工学
- トクシュウ チョウハチョウ リョウイキ ノ セイミツ コウガク
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収録刊行物
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- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
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精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 90 (4), 334-336, 2024-04
東京 : 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520863241218059264
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- NII書誌ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 09120289
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- NDL書誌ID
- 033475938
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
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- データソース種別
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- NDL