α"-Fe₁₆N₂薄膜の高密度磁気記録媒体への応用に向けた反応性パルスDCスパッタリング成膜条件の検討および結晶化促進
書誌事項
- タイトル別名
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- a"-Fe ₁ ₆ N ₂ ハクマク ノ コウミツド ジキ キロク バイタイ エ ノ オウヨウ ニ ムケタ ハンノウセイ パルス DC スパッタリングセイマク ジョウケン ノ ケントウ オヨビ ケッショウカ ソクシン
- Investigation of Fabrication Conditions and Acceleration of Crystallization of α"-Fe₁₆N₂ Thin Film Fabricated by Pulsed DC Reactive Sputtering for High Density Magnetic Recording Media Application
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収録刊行物
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- 日本素材物性学会誌 = Journal of the Society of Materials Engineering for Resources of Japan
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日本素材物性学会誌 = Journal of the Society of Materials Engineering for Resources of Japan 34 (1), 6-14, 2024-05
秋田 : 日本素材物性学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520863782911262720
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- NII書誌ID
- AA12778986
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- ISSN
- 24330507
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- NDL書誌ID
- 033583032
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- データソース種別
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- NDL