MEMSおよびマイクロ部品への応用
書誌事項
- タイトル別名
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- MEMS オヨビ マイクロ ブヒン エ ノ オウヨウ
- 特集 パルス通電場プロセシング(3)実用材料・デバイスへの応用(3)
- トクシュウ パルス ツウデンジョウ プロセシング 3 ジツヨウ ザイリョウ デバイス エ ノ オウヨウ 3
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収録刊行物
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- マテリアルインテグレーション = Materials integration
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マテリアルインテグレーション = Materials integration 23 (8), 29-36, 2010-08
京都 : ティー・アイ・シィー
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521136280053079808
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- NII論文ID
- 40017252146
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- NII書誌ID
- AA11323801
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- ISSN
- 13447858
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- NDL書誌ID
- 10795353
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles