進展するMEMS技術 : 集積化,パッケージング,オープンコラボレーション等
Bibliographic Information
- Other Title
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- シンテン スル MEMS ギジュツ : シュウセキカ,パッケージング,オープンコラボレーション トウ
- MEMS Technology being Developed (integration, packaging and open collaboration)
- 特集 MEMS,ナノ技術の最新動向
- トクシュウ MEMS,ナノ ギジュツ ノ サイシン ドウコウ
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Journal
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- ディスプレイ = Monthly display : FPD・照明・太陽電池の総合技術情報誌 / 月刊ディスプレイ編集委員会 編
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ディスプレイ = Monthly display : FPD・照明・太陽電池の総合技術情報誌 / 月刊ディスプレイ編集委員会 編 19 (2), 1-6, 2013-02
東京 : テクノタイムズ社
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521136280224455296
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- NII Article ID
- 40019552530
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- NII Book ID
- AA11422144
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- ISSN
- 13413961
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- NDL BIB ID
- 024209465
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles