X線トポグラフィーによるSiC単結晶成長その場観察装置の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- Xセン トポグラフィー ニ ヨル SiCタンケッショウ セイチョウ ソノバ カンサツ ソウチ ノ カイハツ
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説明
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編
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電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編 63 (8・9), 305-310, 1999-09
つくば : 電子技術総合研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521136280803072896
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- NII論文ID
- 40002544192
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- NII書誌ID
- AN00152902
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- ISSN
- 03669092
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- NDL書誌ID
- 4964622
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
