ナノ立体形状の定量計測 : 探針補正技術と高感度光干渉変位センサー

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タイトル別名
  • ナノ リッタイ ケイジョウ ノ テイリョウ ケイソク : タンシン ホセイ ギジュツ ト コウカンド ヒカリ カンショウ ヘンイ センサー
  • Quantitative Measurement of 3D Nanostructure Devices : Probe Deformation Correction Technique and Highly Sensitive Interferometric Displacement Sensor
  • 特集 測る : 社会・産業分野に貢献する計測技術
  • トクシュウ ハカル : シャカイ ・ サンギョウ ブンヤ ニ コウケン スル ケイソク ギジュツ

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抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他

収録刊行物

  • 日立評論

    日立評論 94 (2), 204-207, 2012-02

    東京 : 日立評論社

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