光MEMSスキャナのダイナミック平面度計測 : 振動中の光MEMSスキャナのミラー平面度計測
Bibliographic Information
- Other Title
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- ヒカリ MEMS スキャナ ノ ダイナミック ヘイメンド ケイソク : シンドウ チュウ ノ ヒカリ MEMS スキャナ ノ ミラー ヘイメンド ケイソク
- 製品特集 レーザー光評価・測定装置と加工装置
- セイヒン トクシュウ レーザーコウ ヒョウカ ・ ソクテイ ソウチ ト カコウ ソウチ
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- 光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編
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光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編 28 (1), 1-3, 2017-01
東京 : 日本工業出版
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521417754922150272
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- NII Article ID
- 40021036467
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- NII Book ID
- AA11758790
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- ISSN
- 0917026X
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- NDL BIB ID
- 027801446
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
