ITRSロードマップから見た半導体クリーンルームの動向
Bibliographic Information
- Other Title
-
- ITRS ロードマップ カラ ミタ ハンドウタイ クリーンルーム ノ ドウコウ
- Technology requirements of cleanroom for semiconductors on WECC (Wafer Environmental Contamination Control) in ITRS
- 特集 工業用クリーンルームの最新動向
- トクシュウ コウギョウヨウ クリーンルーム ノ サイシン ドウコウ
Search this article
Journal
-
- 空気清浄 : コンタミネーションコントロール
-
空気清浄 : コンタミネーションコントロール 49 (2), 3-7, 2011
東京 : 日本空気清浄協会
- Tweet
Keywords
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1521417755650557952
-
- NII Article ID
- 10029530847
-
- NII Book ID
- AN00065670
-
- ISSN
- 00235032
-
- NDL BIB ID
- 11210211
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles