液晶ディスプレイ製造工程における微細パターン自動修正技術
書誌事項
- タイトル別名
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- エキショウ ディスプレイ セイゾウ コウテイ ニ オケル ビサイ パターン ジドウ シュウセイ ギジュツ
- Automatic repair technology of fine pattern in LCD manufacturing process
- 産業機械用商品・要素技術特集号
- サンギョウ キカイヨウ ショウヒン ヨウソ ギジュツ トクシュウゴウ
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抄録
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
収録刊行物
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- NTN technical review
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NTN technical review (78), 121-126, 2010-10
大阪 : NTN
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521417755689398144
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- NII論文ID
- 40017434849
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- NII書誌ID
- AN10232848
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- ISSN
- 09150528
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- NDL書誌ID
- 10933927
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles