薄型1U 3kWスパッタ用電源 GEXUS-3
書誌事項
- タイトル別名
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- ウスガタ 1U 3kW スパッタヨウ デンゲン GEXUS 3
- Thin type 1U 3kW DC power supply for sputtering
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収録刊行物
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- オリジンテクニカルジャーナル = Origin technical journal
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オリジンテクニカルジャーナル = Origin technical journal (71), 2008-10
東京 : オリジン電気