複合ターゲットを用いた高周波マグネトロンスパッタ法によるB-N-C薄膜の作製
書誌事項
- タイトル別名
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- フクゴウ ターゲット オ モチイタ コウシュウハ マグネトロン スパッタホウ
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説明
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 九州工業技術試験所報告 / 九州工業技術試験所報告編集委員会 編
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九州工業技術試験所報告 / 九州工業技術試験所報告編集委員会 編 (48), p3005-3012, 1992-03
鳥栖 : 通商産業省工業技術院九州工業技術試験所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521699230066714240
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- NII論文ID
- 40000661981
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- NII書誌ID
- AN00054040
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- ISSN
- 03859436
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- NDL書誌ID
- 3770981
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
