回折光干渉を利用した表面パターンの計測
Bibliographic Information
- Other Title
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- カイセツ ヒカリ カンショウ オ リヨウシタ ヒョウメン パターン ノ ケイソ
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Abstract
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
Journal
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- 名古屋市工業研究所研究報告 = Research reports of Nagoya Municipal Industrial Research Institute / 名古屋市工業研究所支援総括室 編
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名古屋市工業研究所研究報告 = Research reports of Nagoya Municipal Industrial Research Institute / 名古屋市工業研究所支援総括室 編 (63), p17-20, 1981
名古屋 : 名古屋市工業研究所
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521699230530766720
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- NII Article ID
- 40002775832
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- NII Book ID
- AN00179851
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- ISSN
- 03693333
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- NDL BIB ID
- 2298893
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles