縦型半導体製造装置における超高温誘導加熱技術の開発
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- タテガタ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ニ オケル チョウコウオン ユウドウ カネツ ギジュツ ノ カイハツ
- Development of ultra high temperature Induction heating technology for vertical semiconductor manufacturing equipment
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Journal
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- 日立国際電気技報 / 企画部研究管理課 編
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日立国際電気技報 / 企画部研究管理課 編 (13), 6-11, 2012
羽村 : 日立国際電気
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521699231027010560
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- NII Article ID
- 40019648347
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- NII Book ID
- AA11814100
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- ISSN
- 13465953
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- NDL BIB ID
- 024475450
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles