Local Mechanical-Stress Control(LMC): A New Technique for CMOS-Performance Enhancement
書誌事項
- タイトル別名
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- Local Mechanical Stress Control LMC A New Technique for CMOS Performance Enhancement
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収録刊行物
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- 日立超LSI技報
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日立超LSI技報 4 (24), 21-26, 2002-03
国分寺 : 日立超LSIシステムズ
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521699231027664896
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- NII論文ID
- 40005240603
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- NII書誌ID
- AA11307554
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- ISSN
- 13450042
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- NDL書誌ID
- 6125956
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- 本文言語コード
- en
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles