固体ソース電子磁気共鳴(ECR)プラズマを用いたLED用インジウムスズ酸化膜(ITO)成膜装置
書誌事項
- タイトル別名
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- コタイ ソース デンシ ジキ キョウメイ ECR プラズマ オ モチイタ LEDヨウ インジウムスズ サンカ マク ITO セイマク ソウチ
- Deposition system of ITO thin films for LED application using solid-source ECR plasma
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収録刊行物
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- 三井造船技報 = Mitsui Zosen technical review
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三井造船技報 = Mitsui Zosen technical review (203), 50-57, 2011-07
東京 : 三井造船技術開発本部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521980704973656320
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- NII論文ID
- 40018921043
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- NII書誌ID
- AN00314662
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- ISSN
- 00266825
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- NDL書誌ID
- 11181158
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN24(科学技術--運輸工学--船舶)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
