原子層単位で制御される物質合成<特集>
Bibliographic Information
- Other Title
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- ゲンシソウ タンイ デ セイギョサレル ブッシツ ゴウセイ トクシュウ
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Abstract
記事分類: 電気工学--電気材料・部品 ; 工業材料・材料試験
Journal
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- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
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真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 36 (2), p67-99, 1993-02
東京 : 日本真空協会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521980705052969856
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- NII Article ID
- 40001883477
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 3808467
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles