圧電・超音波材料 RFバイアススパッタ法による簡便なc軸平行配向ZnO膜の形成--RFバイアスを用いたイオン照射による結晶配向制御
書誌事項
- タイトル別名
-
- アツデン チョウオンパ ザイリョウ RF バイアススパッタホウ ニ ヨル カンベン ナ cジク ヘイコウハイコウ ZnO マク ノ ケイセイ RF バイアス オ モチイタ イオン ショウシャ ニ ヨル ケッショウハイコウ セイギョ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 超音波techno / 超音波techno編集部 編
-
超音波techno / 超音波techno編集部 編 23 (2), 59-62, 2011
東京 : 日本工業出版
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1521980705516317056
-
- NII論文ID
- 40018763807
-
- NII書誌ID
- AN10068970
-
- ISSN
- 09162410
-
- NDL書誌ID
- 11043308
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles