イオンビームアシスト蒸着法による窒化ケイ素薄膜の作製とその特性
書誌事項
- タイトル別名
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- イオン ビーム アシスト ジョウチャクホウ ニヨル チッカ ケイソ ハクマク
- 特集 窒化ケイ素の動向
- トクシュウ チッカ ケイソ ノ ドウコウ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- ニューセラミックス / ティー・アイ・シィー [編]
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ニューセラミックス / ティー・アイ・シィー [編] 10 (4), 27-31, 1997-04
京都 : ティー・アイ・シィー
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522262178410193792
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- NII論文ID
- 40004842412
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- NII書誌ID
- AN10064222
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- ISSN
- 09164057
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- NDL書誌ID
- 4173232
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles