16nm技術ノードへ向けたブロック共重合体リソグラフィ
書誌事項
- タイトル別名
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- 16nm ギジュツ ノード エ ムケタ ブロック キョウジュウゴウタイ リソグラフィ
- 特集 新しい機能性ナノ構造にかかわる基礎研究
- トクシュウ アタラシイ キノウセイ ナノ コウゾウ ニ カカワル キソ ケンキュウ
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説明
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
収録刊行物
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- NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社 編
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NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社 編 19 (2), 9-12, 2007-02
東京 : 電気通信協会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522262179965260160
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- NII論文ID
- 40015294643
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- NII書誌ID
- AN1013019X
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- ISSN
- 09152318
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- NDL書誌ID
- 8672844
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles