代替フロン(CF3I)を用いたLow-k膜エッチング技術
Bibliographic Information
- Other Title
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- ダイタイ フロン CF3I オ モチイタ Low kマク エッチング ギジュツ
- 全冊特集 新材料の導入と半導体製造装置
- ゼンサツ トクシュウ シンザイリョウ ノ ドウニュウ ト ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
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Journal
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- 電子材料
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電子材料 47 (3), 8-11, 2008-03
東京 : 工業調査会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1522262180664603264
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- NII Article ID
- 40015890972
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- NII Book ID
- AN00153166
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- ISSN
- 03870774
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- NDL BIB ID
- 9400418
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles