SiC単結晶ウエハーの統合評価プラットフォーム
書誌事項
- タイトル別名
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- SiCタンケッショウ ウエハー ノ トウゴウ ヒョウカ プラットフォーム
- 特集 実用化に向けて加速するSiC半導体の周辺技術開発と次世代フェーズへの取り組み ; 材料
- トクシュウ ジツヨウカ ニ ムケテ カソク スル SiC ハンドウタイ ノ シュウヘン ギジュツ カイハツ ト ジセダイ フェーズ エ ノ トリクミ ; ザイリョウ
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収録刊行物
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- 工業材料 = Engineering materials
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工業材料 = Engineering materials 62 (3), 28-31, 2014-03
東京 : 日刊工業新聞社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522543655079465728
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- NII論文ID
- 40019980230
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- NII書誌ID
- AN00081076
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- ISSN
- 04522834
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- NDL書誌ID
- 025256273
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles