第1回原子層エピタキシー国際シンポジウム報告
書誌事項
- タイトル別名
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- ダイ 1カイ ゲンシソウ エピタキシー コクサイ シンポジウム ホウコク
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説明
記事分類: 物理学--分子・物性
収録刊行物
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- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
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真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 33 (9), p755-757, 1990-09
東京 : 日本真空協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522543655238816128
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- NII論文ID
- 40001883120
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 05598516
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- NDL書誌ID
- 3688178
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
