書誌事項
- タイトル別名
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- オオガタ ガラス キバンヨウ ストッカ ナイ ノ キリュウ ヘンドウ ト オセン ノ タイサク ニ カンスル ケントウ
- Countermeasure to the airflow fluctuation and the contamination in clean stockers used for large-scale glass substrates
- 特集 工業用クリーンルームの最新動向
- トクシュウ コウギョウヨウ クリーンルーム ノ サイシン ドウコウ
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収録刊行物
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- 空気清浄 : コンタミネーションコントロール
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空気清浄 : コンタミネーションコントロール 49 (2), 16-24, 2011
東京 : 日本空気清浄協会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522543655518599168
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- NII論文ID
- 10029530855
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- NII書誌ID
- AN00065670
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- ISSN
- 00235032
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- NDL書誌ID
- 11210263
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
