電磁加速プラズマを用いた窒化珪素の高速成膜
Bibliographic Information
- Other Title
-
- デンジ カソク プラズマ オ モチイタ チッカ ケイソ ノ コウソクセイ マク
- 小特集 火を操る
- ショウトクシュウ ヒ オ アヤツル
Search this article
Journal
-
- 高温学会誌 = Journal of High Temperature Society
-
高温学会誌 = Journal of High Temperature Society 31 (1), 76-80, 2005
大阪 : 高温学会
- Tweet
Keywords
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1522543655765463296
-
- NII Article ID
- 10029252758
-
- NII Book ID
- AN00080051
-
- ISSN
- 03871096
-
- NDL BIB ID
- 7231136
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZM35(科学技術--物理学)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles