450mmウェーハに関する一考察
書誌事項
- タイトル別名
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- 450mm ウェーハ ニ カンスル イチ コウサツ
- An analysis of 450mm silicon wafers
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収録刊行物
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- Semiconductor international. 日本版
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Semiconductor international. 日本版 5 (12), 47-52, 2008-12
東京 : リード・ビジネス・インフォメーション