スパッタ電源用アーク遮断装置(パルス発生器)「GEXUS-P30」
書誌事項
- タイトル別名
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- スパッタ デンゲンヨウ アーク シャダン ソウチ パルス ハッセイキ GEXUS P30
- Arc suppressing unit (pulse generator) for sputtering power supply, GEXUS-P30
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収録刊行物
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- オリジンテクニカルジャーナル = Origin technical journal
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オリジンテクニカルジャーナル = Origin technical journal (73), 2010-10
東京 : オリジン電気