マスクレベル測定技術の重要性--フラッシュメモリーのCD均一性に大きな影響
書誌事項
- タイトル別名
-
- マスクレベル ソクテイ ギジュツ ノ ジュウヨウセイ フラッシュ メモリー ノ CD キンイツセイ ニ オオキナ エイキョウ
- Mask-level measurements predict imaging performance for flash designs
この論文をさがす
収録刊行物
-
- Semiconductor international. 日本版
-
Semiconductor international. 日本版 5 (11), 18-23, 2008-11
東京 : リード・ビジネス・インフォメーション