TiNおよびTiAlN薄膜の応力のX線的評価
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- Other Title
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- TiN オヨビ TiAlN ハクマク ノ オウリョク ノ Xセンテキ ヒョウカ
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- リガクジャーナル / リガクジャーナル編集委員会 編
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リガクジャーナル / リガクジャーナル編集委員会 編 35 (2), 20-27, 2004-10
昭島 : リガク
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1523106604556345984
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- NII Article ID
- 40006495457
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- NII Book ID
- AA12038731
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- ISSN
- 13492209
- 0913302X
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- NDL BIB ID
- 7140257
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL Search
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