オゾンを利用したホット粒子の発生と酸化物薄膜形成への応用
書誌事項
- タイトル別名
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- オゾン オ リヨウシタ ホット リュウシ ノ ハッセイ ト サンカブツ ハクマ
- 活性粒子による新表層材料創製の研究<特集>
- カッセイ リュウシ ニ ヨル シン ヒョウソウ ザイリョウ ソウセイ ノ ケン
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編
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電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編 57 (4), p300-313, 1993-04
つくば : 電子技術総合研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523106604843840256
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- NII論文ID
- 40002543794
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- NII書誌ID
- AN00152902
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- ISSN
- 03669092
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- NDL書誌ID
- 3823982
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles